産総研ミニマルファブ共用施設公開利用のご案内 ミニマルファブ推進機構

臨海副都心センターCPS研究棟（第2別館）4階に、局所クリーン技術で実現させた
ハーフインチウェハのミニマルファブ装置（約60台）および分析・評価装置が整備され、
2024年1月から「クリエイティブミニマルファブ（CMF）」として共用施設が
公開され利用可能となりました。
利用ご希望の方は以下のURLからご相談下さい。
https://unit.aist.go.jp/icps/icps-mp/cmf/index.html