役員（理事・監事）
| 役 職 | 氏 名 | 所属（現職） |
|---|---|---|
| 代表理事（非常勤） | 齋藤 昇三 |
株式会社デバイス＆システム・プラットフォーム開発センター (代表取締役会長兼社長)((㈱)東芝 嘱託) |
| 専務理事（常勤） | 久保内 講一 | 一般社団法人ミニマルファブ推進機構（専務理事） |
| 理事（非常勤） | 南 洋一 | リソテックジャパン株式会社（代表取締役） |
| 理事（非常勤） | 永井 亨 | 横河ソリューションサービス株式会社 (半導体ビジネスセンター エグゼクティブアドバイザー) |
| 理事（非常勤） | 土屋 忠明 | 株式会社ロジック・リサーチ（代表取締役） |
| 理事（非常勤） | 速水 利泰 | SSPテクノロジーズ株式会社（代表取締役） |
| 理事（非常勤） | 亀井 龍一郎 | 誠南工業株式会社（代表取締役） |
| 理事（非常勤） | 大西 康弘 | 株式会社米倉製作所（代表取締役） |
| 理事（非常勤） | 池田 伸一 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 （インダストリアルCPS研究センター） |
| 監事（非常勤） | 西村 一知 | リソテックジャパン株式会社(コンサルタント) |
運営委員
運営委員会は上記役員のほか下記の委員で構成
| 氏 名 | 所属 |
|---|---|
| 小貫慶一 | JFE商事エレクトロニクス株式会社 |
| 施村偉 | 株式会社共和電業 |
| 原史朗 | 株式会社Hundred Semiconductors |
| 川合章二 | 株式会社ディスコ |
| 田中雅彦 | SPPテクノロジーズ株式会社 |
| 岩崎直基 | 株式会社堀場エステック |
| 新藤浩之 | 宇宙航空研究開発機構 |
| 来見田淳也 | 産業技術総合研究所（九州センター） |
（順不同）