ASSOCIATION / 組織概要

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  • ■ミニマル装置の将来的なユーザとなるデバイスメーカと連携し,開発成果を評価・洗練する.
  • ■ウェハ実装・検査など,半導体製造の後工程におけるミニマルファブの研究開発と連携する.
  • ■ミニマル装置の開発と並行して,量産販路およびサービス体制を構築する.
  • ■ミニマルファブに関する知的財産を整備する.
  • ■主にファブシステム研究会(含 デバイスメーカー,試作企業,特許事務所)およびミニマル3DICファブ開発研究会(後工程)と連携して,上記研究開発をPJ外で推進する.